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智能电磁流量计

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智能电磁流量计真空流量控制与工业自动化协议解析

来源:编辑:发表时间:2019-08-24 17:20:09

Alicat Scientific在其用于真空镀膜应用的智能电磁流量计系列中扩展了通信协议产品,增加了EtherNet / IP和DeviceNet。Alicat的MCE系列和MCV系列智能电磁流量计确保真空室中的**佳涂层环境,保持真空沉积中的产品完整性。
Alicat MCE和MCV精确控制气体流速低至0-0.5 sccm满量程或高达0-20 slpm满量程,并且能够控制20至50毫秒的控制响应时间。 Alicat MCE和MCV精确控制气体流速低至0-0.5 sccm满量程或高达0-20 slpm满量程,并且能够控制20至50毫秒的控制响应时间。
 
新的工业自动化协议可实现实时数据,包括质量流量,体积流量,很好压力和温度,以及全温度和压力补偿 - 由PLC集中读取并用于管理MCE和MCV系列仪器。用户可以更改设定值或气体选择,并使用DeviceNet或支撑EtherNet / IP的PLC或计算机向Alicat仪器发出其他命令。
智能电磁流量计.jpg
Alicat MCE和MCV精确控制气体流速低至0-0.5 sccm满量程或高达0-20 slpm满量程,并且能够控制20至50毫秒的控制响应时间。快速响应时间可以大大改善真空镀膜终端产品,并有助于消除目标中毒。集成的气动截止阀通常是关闭的,可提供1 x 10 ^ 9 atm-sccm / sec的**大氦气关闭。
 
除了新的EtherNet / IP和DeviceNet协议,Alicat还提供Modbus-RTU和PROFIBUS通信选项。MCE系列和MCV系列可用于替代传统和已停产的MKS仪器。这两个系列均采用与普通工业智能电磁流量计相同的空间,易于集成到现有系统中。所有Alicat仪器均提供NIST可溯源校准,全面的技术支撑和终身保修。

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